天津研制的“納米尺度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器”近日獲國家

　天津檢驗(yàn)*課題組研制的“納米尺度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器”近日獲得國家實(shí)用新型*。該項(xiàng)目可讓納米尺度測(cè)量更準(zhǔn)確，避免了日常因測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確而產(chǎn)生的復(fù)檢、爭議等問題，從而填補(bǔ)納米材料領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)器的*。

　　隨著納米科技飛速發(fā)展，用于測(cè)量納米尺度的高分辨率測(cè)量器具一直是人們關(guān)注的課題，為了得到更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果，需要有一個(gè)更接近于樣品尺度的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)―― “納米標(biāo)準(zhǔn)器”。為此，天津檢驗(yàn)*化礦金屬材料檢測(cè)中心課題組經(jīng)過兩年的，通過精選納米標(biāo)準(zhǔn)器材質(zhì)，采用先進(jìn)的聚焦離子束刻蝕技術(shù)，研制成功一種新型的用于掃描電鏡納米尺度測(cè)量的納米標(biāo)準(zhǔn)器。

　　據(jù)課題組傅志強(qiáng)介紹，該納米標(biāo)準(zhǔn)器總體而言，具有分辨率高、線距均勻、材料穩(wěn)定、設(shè)計(jì)*等特點(diǎn)。例如，標(biāo)準(zhǔn)器具有78納米的標(biāo)準(zhǔn)周期線距，遠(yuǎn)小于目前*的S1000標(biāo)準(zhǔn)器的線距1000納米（1微米），是真正意義上的納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)器;每個(gè)刻度周期線距的均勻性和一致性，可使得zui小線距整數(shù)倍的距離都可以作為標(biāo)準(zhǔn)長度來比對(duì);材料膨脹系數(shù)低、性能穩(wěn)定;設(shè)計(jì)*，將橫線、豎線、點(diǎn)陣和圓環(huán)形狀的標(biāo)準(zhǔn)刻度于一體，可以滿足不同形狀樣品的比對(duì)測(cè)量需求，從而解決了納米尺度更準(zhǔn)確的測(cè)量問題，對(duì)國內(nèi)納米行業(yè)的發(fā)展將起到很大的促進(jìn)作用。

　　據(jù)介紹，該標(biāo)準(zhǔn)器在檢驗(yàn)檢疫部門實(shí)際工作中，可用于納米級(jí)金屬粉末、金屬氧化物、碳納米材料等的掃描電鏡長度測(cè)量，相比于傳統(tǒng)的手段，在操作方面有體積小巧、定位容易、刻度清晰等優(yōu)勢(shì)，可增加掃描電鏡長度測(cè)量度10%，避免了日常因測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確而產(chǎn)生的復(fù)檢、爭議等問題，具有較強(qiáng)的實(shí)際應(yīng)用水平。

　　記者了解到，該標(biāo)準(zhǔn)器目前已經(jīng)開始應(yīng)用于天津檢驗(yàn)*實(shí)驗(yàn)室掃描電鏡測(cè)量納米材料尺度的檢測(cè)實(shí)際工作中。
 天津研制的“納米尺度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器”近日獲國家